[实用新型]自动消防系统

摘要

本实用新型公开一种自动消防系统，系在半导体或显示器的制程腔体发生火灾时进行灭火，其包含设于制程腔体周围的检测单元，用以检测制程腔体的燃烧条件，且提供检测信号至控制单元，控制单元在接收检测信号后及进行判断检测信号是否为特征值，若是，则向设于制程腔体邻近处的警示单元发出警示信号进行警示，同时向设于制程腔体周围的灭火单元发出灭火信号进行灭火。

主权项

一种自动消防系统，系用于制程腔体灭火，其特征在于包含：至少一个检测单元，设于所述制程腔体的周围，用以检测燃烧条件，并提供检测信号；至少一个灭火单元，接收灭火信号并进行灭火，包含：至少一个灭火气体供应系统，具备至少一个压力开关，所述至少一个压力开关监视灭火气体的排放；至少一个喷嘴，设于所述制程腔体的周围，并连接所述灭火气体供应系统而向所述燃烧条件喷射所述灭火气体；至少一个警示单元，设于所述制程腔体的邻近处，接收警示信号后提供警示信号；以及控制单元，连接所述至少一个警示单元、所述至少一个检测单元及所述至少一个灭火单元，并在接收所述检测信号后判断所述检测信号是否为特征值，当符合所述特征值时，则向所述至少一个警示单元发出所述警示信号，且向所述至少一个灭火单元发出所述灭火信号，而令所述至少一个灭火气体供应系统排放该灭火气体至所述至少一个喷嘴，监视系统，用以监视及记录所述至少一个检测单元的检测信号而得知所述燃烧条件的位置。