[实用新型]一种硅片冲洗装置的连接机构无效
| 申请号： | 201020581158.X | 申请日： | 2010-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN201832811U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片冲洗装置的连接机构，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠，由于本实用新型包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠；盒体与封闭空腔连接时，盒体的外周面与封闭空腔通孔的内周面之间的配合为滚动摩擦，摩擦力小，可避免封闭空腔由于长时间摩擦而损坏，从而，延长了冲洗装置的使用时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 冲洗 装置 连接 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片冲洗装置的连接机构，其特征在于，包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上通过连接座均匀设有若干滚珠。
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