[实用新型]无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件无效
| 申请号： | 201020581480.2 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201858872U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/24 | 分类号： | F27B9/24;F27B9/30;F27D3/12;H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉，钢丝托脚焊接在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中，在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性能良好的优点，用它作为硅片托架主体杆，空心管结构吸热量少。在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性，从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体，能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，降低了硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。 | ||
| 搜索关键词： | 无网带 烧结炉 陶瓷 硅片 部件 | ||
【主权项】：
一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，其特征是：它包括金属套(41)、钢丝托脚(42)、陶瓷涂层(43)和限位螺钉(44)，钢丝托脚(42)焊接在金属套(41)上，在金属套(41)上设有螺纹孔(45)，限位螺钉(44)旋接在金属套(41)上的螺纹孔(45)中，在钢丝托脚(42)的外表面上设有陶瓷涂层(43)。
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