[实用新型]硅片移动托架的升降机构无效

专利信息
申请号: 201020581489.3 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN201858874U 公开(公告)日: 2011-06-08
发明(设计)人: 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27B9/30 分类号: F27B9/30;F27D3/12
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种无网带高效烧结炉中的硅片移动托架的升降机构,包括水平推杆、摆杆、转轴、偏心轮、滚轮、轴承座、耳座、活动台和固定底板,转轴通过轴承座安装在固定底板上,偏心轮固定安装在转轴上,摆杆的上端固定安装在转轴上,转轴可转动地安装在固定底板上,摆杆的下端与水平推杆铰接,滚轮可转动地安装活动板的下端面上,滚轮通过耳座固定在活动板上,滚轮与偏心轮相接触。当水平推杆左右平移时,摆杆带动转轴左右摆转,由于偏心轮固定安装在转轴上,偏心轮也会之摆转,从而带动活动板往复升降运动,满足了移动托架相对于固定托架的升降动作要求。
搜索关键词: 硅片 移动 托架 升降 机构
【主权项】:
一种硅片移动托架的升降机构,其特征是:包括水平推杆(61)、摆杆(62)、转轴(63)、轴承座(64)、偏心轮(65)、滚轮(66)、耳座(67)、活动板(15、35)和固定底板(11、31),转轴(63)通过轴承座(64)安装在固定底板(11、31)上,偏心轮(65)固定安装在转轴(63)上,摆杆(62)的上端固定安装在转轴(63)上,转轴(63)可转动地安装在固定底板(11、31)上,摆杆(62)的下端与水平推杆(61)铰接,滚轮(66)通过耳座(67)固定在活动板(15、35)的下端面上,滚轮(66)与偏心轮(65)相接触。
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