[实用新型]倒角机工件规正检测装置无效
申请号: | 201020583176.1 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201859858U | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 董双利 | 申请(专利权)人: | 天津友爱康复医疗设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人: | 肖莉丽 |
地址: | 300350 天津市津南区*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种倒角机工件规正检测装置,旨在提供一种能够对硅片进行规正,并对规正后的硅片进行检测,以提高加工精度的装置。在基座上有规正汽缸和电子尺,电子尺的测量杆通过连接板与两个导杠一端固定连接,两个导杠的另一端与导轮固定板固定连接,导轮固定板上有两个可自由转动的规正导轮,两个导杠分别置于固定在基座上的导套内,规正汽缸的推杆与规正调节板固定连接,两个导杠与规正调节板固定连接,规正调节板与基座之间安装有弹簧,电子尺的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接,倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。该装置能够满足高精度加工的需要。 | ||
搜索关键词: | 倒角 机工 规正 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种倒角机工件规正检测装置,其特征在于,包括基座,所述基座上固定安装有规正汽缸和电子尺,所述电子尺的测量杆通过连接板与两个导杠一端固定连接,两个导杠的另一端与导轮固定板固定连接,所述导轮固定板上安装有两个可自由转动的规正导轮,两个导杠分别置于固定在基座上的导套内,所述规正汽缸的推杆与规正调节板固定连接,两个导杠与所述规正调节板固定连接,所述规正调节板与基座之间安装有弹簧,所述电子尺的信号输出端通过模数转换器与倒角机PLC控制器的检测信号输入端连接,所述倒角机PLC控制器分别与触摸屏和报警器连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造