[实用新型]靶材坯料打磨装置有效
| 申请号： | 201020589675.1 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201872049U | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周伟君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省余姚市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种靶材坯料打磨装置，包括：进料口为四边形的漏斗，漏斗进料口相对的两边之间连接有支撑平台，漏斗进料口的三个边上方分别设置有立板。本实用新型实施例所提供的靶材坯料打磨装置中，通过在漏斗进料口的三个边上设置的立板，能够有效的阻挡溅射出的颗粒，防止伤到操作人员；通过设置的漏斗装置，能够及时的收集溅射出的颗粒，能够解决溅射出的细小颗粒散落在周围的地面的问题，减小颗粒物对工作环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 坯料 打磨 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材坯料打磨装置，其特征在于，包括：进料口为四边形的漏斗，漏斗进料口相对的两边之间连接有支撑平台，漏斗进料口的三个边上方分别设置有立板。
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