[实用新型]柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备

摘要

本实用新型提供了一种新型柔性化合物薄膜太阳能光电池大规模工业化生产用的连续化自动化生产设备，一种柔性薄膜太阳能光电池生产设备，其特征在于：所述设备是一条由基材金属箔卷到光电池成品卷的完全连续化自动化密闭真空生产线，所述设备从一侧到另一侧由多个真空溅射室通过狭縫隔离阀固定连接。本实用新型实现了生产的完全连续化自动化，提高了生产效率；克服了现有技术设备活性结晶镀膜层接触导滚从而受破坏和分段生产接触空气被氧化而使质量下降的向题，提高了产品质量和光电转换效率。

主权项

一种柔性薄膜太阳能光电池连续自动化生产设备，其特征在于：所述设备是一条由基材金属箔卷到光电池成品卷的完全连续化自动化密闭真空生产线，所述设备从一侧到另一侧各真空溅射室依次为：基材金属箔卷进料室、基材辉光放电等离子净化室、氧化钛绝缘层真空镀膜室、背电极铜钼钠合金真空镀膜室、反射层铝真空镀膜室、吸收层P型半导体真空镀膜室、固态硒化硫化室、降温室、窗口层硫化锌N型半导体真空镀膜室、隔离层i SiO2真空镀膜室、上电极氧化锌铝真空镀膜室、减反射膜真空镀室、助焊层真空镀膜室、冷却降温室、光电池成品收卷室，所述各个真空溅射室之间通过狭縫隔离阀固定连接。