[实用新型]一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统

摘要

本实用新型公开了一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其中，该化学气相沉积系统整体呈弓形设置；该加载台和卸载台设置在第一区域中；该第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。由于本实用新型的化学气相沉积系统整体设置为弓形，因此其加载台和卸载台都设置在洁净度较高的第一区域中，故无需设置专门的回传机构，保证衬底在沉积过程中不受污染的同时也降低了系统的生产成本。同时，可有效降低该化学气相沉积系统的占地面积。

主权项

一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在洁净度不同的第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；其特征在于：所述的化学气相沉积系统整体呈弓形设置；其中，所述的加载台和卸载台设置在第一区域中；所述的第一承载室、多个化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。