[实用新型]浸没光刻机的浸液温度控制和测量装置

摘要

本实用新型涉及一种浸没光刻机的浸液温度控制和测量装置，包括浸液存储单元水温控制设备、回水分流板、进水分流板、参数测量板、上位机，水温控制设备设有液体出口和液体入口，水温控制设备的液体出口、进水分流板、浸液存储单元、回水分流板、水温控制设备的液体入口依次相连接构成浸液循环回路，上位机与水温控制设备相电连接，上位机控制水温控制设备工作，浸液存储单元内安装有温度传感器，该温度传感器与参数测量板相信号连接，温度传感器将其测得的浸液温度及时传输给参数测量板，参数测量板与上位机相电连接，参数测量板将从温度传感器处获得的浸液温度信息传输给上位机。该装置能保证浸液流场的温度稳定性要求，并实时测量浸液温度特性。

主权项

一种浸没光刻机的浸液温度控制和测量装置，其特征在于：包括浸液存储单元、用于对浸液进行温度调节的水温控制设备、回水分流板、进水分流板、参数测量板、上位机，所述的水温控制设备设有液体出口和液体入口，所述的水温控制设备的液体出口、进水分流板、浸液存储单元、回水分流板、所述的水温控制设备的液体入口依次相连通构成浸液循环回路，所述的上位机与所述的水温控制设备相电连接，所述的上位机控制所述的水温控制设备工作，所述的浸液存储单元内安装有温度传感器，该温度传感器与所述的参数测量板相信号连接，所述的温度传感器将其测得的浸液温度及时传输给所述的参数测量板，所述的参数测量板与所述的上位机相电连接，所述的参数测量板将从所述的温度传感器处获得的浸液温度信息传输给所述的上位机。