[实用新型]双敏感层体声波氢气谐振传感器无效
| 申请号： | 201020597554.1 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN201903532U | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王璟璟;陈达;张玉萍;张会云;干耀国 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266510 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双敏感层体声波氢气谐振传感器。包括基底、下敏感金属层、压电薄膜层、上敏感金属层和空洞，具有上敏感金属层和下敏感金属层对氢气的双敏感层。以高频体声波作为谐振模式，结构简单，谐振频率高；对氢气的灵敏度高、响应速度快；耗能低、且工作在常温环境；涉及的制造工艺和材料都与现有集成电路制造工艺兼容，无需高精度光刻工艺，所以还具有成本低、可以与现有集成电路集成，易于实现阵列化和作为与无线传感器网络的传感器终端。可以应用于氢气生产、运输和使用中的浓度监测。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感 声波 氢气 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
一种双敏感层体声波氢气谐振传感器，包括谐振器和敏感层，其特征在于，谐振器的电极同时作为氢气敏感层，从下向上依次设置基底(1)、设置在基底(1)上的空洞(5)、下敏感金属层(2)、压电薄膜层(3)和上敏感金属层(4)；下敏感金属层(2)、压电薄膜层(3)、上敏感金属层(4)和空洞(5)的面积依次减小；上敏感金属层(4)和下敏感金属层(2)都暴露在环境气氛中，可以吸附环境中的氢气分子。
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