[实用新型]单晶制绒片架压条装置有效
| 申请号： | 201020603171.0 | 申请日： | 2010-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN201887061U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李建飞;祝耀华;于海娇;王守志;李扬 | 申请（专利权）人： | 江阴浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶制绒片架压条装置，包括：第一压条；第二压条，与第一压条相互平行；第三压条，一端连接在第一压条的中点区域，另一端连接在第二压条的中点区域；所述第三压条中设置有通孔。本实用新型实施例提供的单晶制绒片架压条装置中，在压条中设置了通孔，通孔能够疏导压条处制绒液的流动，使压条处制绒液的流动与周边区域相同，进而使硅片压条处的腐蚀速率与其它区域相同，避免了硅片上压条印的形成，进而解决了硅片在PECVD制程中产生色斑的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶制绒片架 压条 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶制绒片架压条装置，其特征在于，包括：第一压条；第二压条，与第一压条相互平行；第三压条，一端连接在第一压条的中点区域，另一端连接在第二压条的中点区域；所述第三压条中设置有通孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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