[实用新型]一种扩散炉有害气体监护装置有效
| 申请号： | 201020605670.3 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN201946090U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/14 | 分类号： | G08B21/14 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种扩散炉有害气体监测装置，所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄漏量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄漏量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。本实用新型扩散炉有害气体监测装置用于扩散工艺场所的有害气体监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 有害 气体 监护 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉有害气体监测装置，其特征在于：所述扩散炉有害气体监测装置包括一收集有害气体的探头，所述探头通过一气管连接有一监测有害气体泄露量的监测器，所述监测器连接有一报警器；当监测器监测到探头收集的有害气体泄露量超过设定值时，监测器向报警器发送一报警信号，所述报警器接到所述报警信号后报警。
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