[实用新型]平板PECVD装置的挂钩

摘要

本实用新型实施例公开了一种平板PECVD装置的挂钩，用于支撑硅片，包括夹持部，该夹持部包括相对设置且形成夹持槽的第一夹持壁和第二夹持壁；设置在夹持部的底侧的两端的第一挂钩本体和第二挂钩本体，第一挂钩本体与第一夹持壁连接的连接部内凹于第一夹持壁的外侧面，第二挂钩本体与第二夹持壁连接的连接部内凹于第二夹持壁的外侧面。本实用新型提供的PECVD装置的挂钩中，第一挂钩本体与第一夹持壁连接的连接部内凹于所述第一夹持壁的外侧面，第二挂钩本体与第二夹持壁连接的连接部内凹于第二夹持壁的外侧面，减小了钩尖与硅片的接触处的钩点距硅片边缘的距离，由于硅片的边缘并没有栅线，从而减小了硅片上钩点的漏电流。

主权项

一种平板PECVD装置的挂钩，用于支撑太阳能电池片生产用硅片，其特征在于，包括：夹持部，该夹持部包括相对设置且形成夹持槽的第一夹持壁和第二夹持壁；设置在所述夹持部的底侧的两端的第一挂钩本体和第二挂钩本体，所述第一挂钩本体与所述第一夹持壁连接的连接部内凹于所述第一夹持壁的外侧面，所述第二挂钩本体与所述第二夹持壁连接的连接部内凹于所述第二夹持壁的外侧面。