[实用新型]具有翻转芯片功能的芯片吸取装置

摘要

本实用新型提供了一种具有翻转芯片功能的芯片吸取装置，包括Z向高度调节与支撑机构、翻转驱动机构、芯片吸取机构，Z向高度调节与支撑机构将芯片吸取机构移动到适宜高度，翻转驱动机构驱动芯片吸取机构旋转，芯片吸取机构包括直线导向运动部件和芯片吸取元件，直线导向运动部件内设有直线轴承和弹簧，直线导向轴从上往下穿过直线轴承和弹簧，其端部连接芯片吸取元件，由于弹簧的缓冲作用，芯片吸取元件将芯片吸住后跟随芯片上升一定的高度，再在翻转驱动机构的作用下旋转到达芯片供给位置。本实用新型一方面避免了非接触式吸取的不可靠性，另一方面也避免了刚性接触式吸取时芯片因受力过大而损伤，实现了芯片的可靠与无损伤吸取和翻转。

主权项

一种具有翻转芯片功能的芯片吸取装置，包括Z向高度调节与支撑机构、翻转驱动机构和芯片吸取机构，Z向高度调节与支撑机构为整个装置的基座，并用于将芯片吸取机构移动到适宜高度，翻转驱动机构驱动芯片吸取机构旋转，其特征在于，所述芯片吸取机构包括直线导向运动部件（36）和设在其底端的芯片吸取元件（37），所述直线导向运动部件（36）包括直线运动部件安装座（361）、直线导向轴（363）、直线轴承（364）、弹簧（365）、空心转接件（366）和气管连接件（367），直线运动部件安装座（361）固定连接翻转驱动机构，直线运动部件安装座（361）内嵌有直线轴承（364）和弹簧（365），直线导向轴（363）从上往下依次穿过直线轴承（364）和弹簧（365）连接空心转接件（366）的一端，空心转接件（366）的另一端连接芯片吸取元件（37），空心转接件（366）的侧壁连接气管连接件（367），空心转接件（366）和芯片吸取元件（37）间的通孔构成真空通道，并与气管连接件（367）相连通。