[实用新型]晶片研磨机无效
| 申请号： | 201020618161.4 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN201940893U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 卢巍 | 申请（专利权）人： | 嘉兴鲲鹏电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 王嘉华 |
| 地址： | 314000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种晶片研磨机，它包括机座和工作台，其特征在于工作台内设有内齿圈，内齿圈内有下磨盘，内齿圈中心有电机带动的中心齿轮，在中心齿轮和内齿圈间有多个游星模板放置在下磨盘上，游星模板表面有放置晶片的孔，游星模板上有上磨盘，上磨盘上有研磨液的注入孔。本实用新型的晶片研磨机，把晶片放置在游星模板的孔内，游星模板在中心齿轮和内齿圈中间作星形公转和自转，下磨盘和上磨盘对放置在游星模板表面孔内的晶片进行研磨，并由游星模板的厚度控制晶片的研磨厚度。因此，本实用新型具有结构简单、研磨精度易控的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 研磨机 | ||
【主权项】：
一种晶片研磨机，它包括机座(1)和工作台(2)，其特征在于工作台(2)内设有内齿圈(3)，内齿圈(3)内有下磨盘(5)，内齿圈(3)中心有电机带动的中心齿轮(6)，在中心齿轮(6)和内齿圈(3)间有多个游星模板(4)放置在下磨盘(5)上，游星模板(4)表面有放置晶片的孔，游星模板(4)上有上磨盘(7)，上磨盘(7)上有研磨液的注入孔(8)。
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