[实用新型]用于籽晶传动装置的调节平台有效
申请号: | 201020620976.6 | 申请日: | 2010-11-24 |
公开(公告)号: | CN201915172U | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种用于籽晶传动装置的调节平台,属于真空设备技术领域。包括滑台板、滑台、滑台座、固定支架、X轴调节机构、Y轴调节机构、第一滑轨滑块组件、第二滑轨滑块组件及与滑台连接的锁紧机构,所述滑台板、滑台、滑台座、固定支架均带有内孔,并依次套装于籽晶轴上,滑台座固定在固定支架上,在滑台座和滑台间、滑台和滑台板间分别安装有第一、第二滑轨滑块组件,滑台沿滑台座、滑台板沿滑台分别相对滑动,滑台板与籽晶轴固定连接,在滑台和滑台板间的X轴方向上设有X轴调节机构,在滑台和滑台座的Y轴方向上设有Y轴调节机构。本实用新型采用双导轨滑块调节二维精度,使其运动灵活,X轴、Y轴调节机构采用微分头调节,实现了微调、精调。 | ||
搜索关键词: | 用于 籽晶 传动 装置 调节 平台 | ||
【主权项】:
一种用于籽晶传动装置的调节平台,其特征在于:包括滑台板、滑台、滑台座、固定支架、X轴调节机构、Y轴调节机构、第一滑轨滑块组件、第二滑轨滑块组件及与滑台连接的锁紧机构,所述滑台板、滑台、滑台座、固定支架均带有内孔,并依次套装于籽晶轴上,滑台座固定在固定支架上,在滑台座和滑台间、滑台和滑台板间分别安装有第一、第二滑轨滑块组件,滑台沿滑台座、滑台板沿滑台分别相对滑动,滑台板与籽晶轴固定连接,在滑台和滑台板间的X轴方向上设有X轴调节机构,在滑台和滑台座的Y轴方向上设有Y轴调节机构。
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