[实用新型]一种真空吸盘无效
| 申请号： | 201020621630.8 | 申请日： | 2010-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201896027U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李秉永;吕明;郭城;魏继昊 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/02 | 分类号： | B66C1/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 张建成 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的是一种真空吸盘，尤其是一种在半导体生产中用于承载硅片的真空吸盘。包括有真空管路、吸盘(7)、动力装置，其特征在于：在所述吸盘(7)上设置驱动机构。在该方案中本实用新型采用电机输出轴中空管连接真空管路，在真空管路开通时固定吸盘上的晶圆片，同时对于向表面喷涂液态材料时可以将吸盘整体连接在转轴上，通过电机带动旋转，保证在牢固吸附晶圆片的同时进行转速可控的平稳旋转，使涂覆在表面的液态物质在离心力作用下均匀分布在表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸盘 | ||
【主权项】：
一种真空吸盘，包括有真空管路、吸盘(7)、动力装置，其特征在于：在所述吸盘(7)上设置驱动机构。
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