[实用新型]新型玻璃镀膜设备有效
| 申请号： | 201020626073.9 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN201896195U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 刘晓萌 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 215600 江苏省张家港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了新型玻璃镀膜设备，包括依次排列的进片室、反应室和出片室，所述的进片室内设有加热设备和玻璃送取装置；所述的反应室内设有用于镀膜的溅射靶材和加热保温设备；所述的出片室设有玻璃送取装置；所述的玻璃送取装置设有平移气缸和玻璃基架，平移气缸和玻璃基架相连接。本实用新型的优点在于：一次进多片玻璃，提高了工作效率，玻璃基片的清洗与玻璃镀膜操作分离，防止镀膜的污染发生，一次抽真空实现多项操作，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 玻璃 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
新型玻璃镀膜设备，其特征在于：包括依次排列的进片室、清洗室、反应室和出片室，所述的进片室内设有加热设备和玻璃送取装置；所述的清洗室内设有反溅清洗板；所述的反应室内设有用于镀膜的溅射靶材和加热保温设备；所述的出片室设有玻璃送取装置；所述的玻璃送取装置设有平移气缸和玻璃基架，平移气缸和玻璃基架相连接。
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