[实用新型]一种分区式真空镀膜机无效
| 申请号： | 201020628594.8 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201890918U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞安 | 申请（专利权）人： | 黄瑞安 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 广东省潮州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备，具体涉及一种分区式真空镀膜机。本实用新型的分区式真空镀膜机，其依次包括了待镀工件区、真空镀膜区和成品区，以及连接待镀工件区、真空镀膜区和成品区的元件传动装置；其中真空镀膜区包括真空室、加热器和蒸发源。本实用新型一方面采用分区式结构，并通过传动装置使工件在各个区之间传动来完成镀膜，整个过程操作方便、生产效率高；另一方面本实用新型保证工件在进入镀膜室中时位于蒸发源的两侧，保证镀膜均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分区 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种分区式真空镀膜机，其特征在于：其依次包括了待镀工件区、真空镀膜区和成品区，以及连接待镀工件区、真空镀膜区和成品区的元件传动装置；其中真空镀膜区包括真空室、加热器和蒸发源。
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