[实用新型]一种金属陶瓷复合膜真空离子镀膜机无效
| 申请号： | 201020629049.0 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201890917U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞安 | 申请（专利权）人： | 黄瑞安 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 广东省潮州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属陶瓷复合膜真空离子镀膜机，包括真空镀膜室，样品架，机架，所述机架连接所述真空镀膜室底部外壁，所述样品架位于所述真空镀膜室腔内并与真空镀膜室底部内壁固定相接，所述真空镀膜室内配置有金属离子装置和射频磁控溅射装置。本实用新型结构简单，装配方便，产品成本低廉，效率高，满足人们对金属表面处理工艺的使用要求，高耐磨损度和高耐腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属陶瓷 复合 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
一种金属陶瓷复合膜真空离子镀膜机，包括真空镀膜室，样品架，机架，所述机架连接所述真空镀膜室底部外壁，所述样品架位于所述真空镀膜室腔内并与真空镀膜室底部内壁固定相接，其特征在于，所述真空镀膜室内配置有电弧靶和射频磁控溅射装置。
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