[实用新型]PECVD设备新型开关炉门

摘要

本实用新型所述PECVD设备新型开关炉门包括导轨、无杆气缸、无杆气缸滑块、支撑板、导轨滑块、炉体、炉门、运动臂、至少两个关节轴承；其中，导轨、无杆气缸及炉体均被固定在机架上，导轨滑块与导轨可滑动的配合，无杆气缸滑块与无杆气缸可滑动的配合，无杆气缸滑块与导轨滑块都固定在支撑板上，支撑板与运动臂固定连接，运动臂通过两个关节轴承与炉门连接，关节轴承的连线与导轨垂直；其优点在于气缸负载小、运动平稳、结构紧凑、占地面积小、方便位置调整、密封性效果好。

主权项

一种PECVD设备新型开关炉门，其特征在于它包括导轨、无杆气缸、无杆气缸滑块、支撑板、导轨滑块、炉体、炉门、运动臂、至少两个关节轴承；其中，导轨、无杆气缸及炉体均被固定在机架上，导轨滑块与导轨可滑动的配合，无杆气缸滑块与无杆气缸外壳可滑动的配合，无杆气缸滑块与导轨滑块都固定在支撑板上，支撑板与运动臂固定连接，运动臂通过两个关节轴承与炉门连接，关节轴承的连线与导轨垂直。