[实用新型]方便维护的镀膜设备

摘要

一种方便维护的镀膜设备，可在一待镀物上沉积薄膜，包含：一个中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极，及一个可导电的筛隔件。该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面。该筛隔件可拆离地盖设在该电极表面上，并包括数个贯穿的筛隔穿孔。因为该筛隔件罩住该电极，因此镀膜离子可附着在该筛隔件上，而不会直接累积在该电极上，此外，该筛隔件可被拆离，使维护时无须拆下电极而可直接汰换该筛隔件，以达到方便维护且提高效率的目的。

主权项

一种方便维护的镀膜设备，可在一个待镀物上沉积一层薄膜，包含：一个中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极，该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面；其特征在于：该镀膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件，该筛隔件设有数个贯穿的筛隔穿孔。