[实用新型]一种等离子处理设备有效
| 申请号： | 201020638640.2 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN201887013U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04;H01J37/02 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 刘曾剑 |
| 地址： | 519060 广东省珠海市香洲*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种等离子处理设备,包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，所述电极板的内部开有可供冷却流体介质流经的流道。优选地,所述电极板上设有间隔分布的冷却流体介质流入管和冷却流体介质流出管，所述冷却流体介质流入管与所述流道的入口对接，所述冷却流体介质流出管与所述流道的出口对接。与现有技术相比,本实用新型由于在电极板内部开有冷却流体介质流道，当冷却流体介质流经该冷却流体介质流道时可对电极板进行冷却，使电极板的温度保持在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均匀性，改善了处理效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子处理设备,包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，其特征在于: 所述电极板的内部开有可供冷却流体介质流经的流道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海宝丰堂电子科技有限公司，未经珠海宝丰堂电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020638640.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种IC封装载板
- 下一篇：一种用于断路器的过载保护调节装置
