[实用新型]微电子机械系统传声器无效
| 申请号： | 201020648159.1 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN201937821U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 金容国 | 申请（专利权）人： | 宝星电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种能够在硅基板和膜的接触部位上减小残余应力的微电子机械系统(MEMS)传声器。本实用新型提供一种微电子机械系统传声器及其制造方法，本实用新型的微电子机械系统传声器包括：硅基板，形成有背腔；支撑板，蒸镀在所述硅基板，形成有多个音孔；膜，以与所述支撑板隔开而形成空隙的方式蒸镀在所述硅基板；以及应力缓冲部，蒸镀在所述膜和硅基板的接触部位。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 传声器 | ||
【主权项】：
一种微电子机械系统传声器，包括：硅基板，形成有背腔；支撑板，蒸镀在所述硅基板，形成有多个音孔；膜，以与所述支撑板隔开而形成空隙的方式蒸镀在所述硅基板；以及应力缓冲部，蒸镀在所述膜和硅基板的接触部位。
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