[实用新型]一种清洗真空吸盘定位部件的装置有效
| 申请号： | 201020656029.2 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201950055U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 马如贵;何如兵;凌成伟;章进东 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种清洗真空吸盘定位部件的装置，包括：上盖和基板，所述上盖与基板通过合叶连接，上盖沿合叶转动，从而使上盖与基板间开启和闭合；其中，光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方，并且在上盖和基板闭合时，上盖完全覆盖光罩薄膜，而不覆盖真空吸盘定位部件。本实用新型由于上盖对被覆盖的光罩薄膜具有保护作用，不会因擦拭真空吸盘定位部件而刮伤光罩薄膜，因此能够更有效地清洗真空吸盘定位部件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 真空 吸盘 定位 部件 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗真空吸盘定位部件的装置，其特征在于，包括：上盖和基板，所述上盖与基板通过合叶连接，上盖沿合叶转动，从而使上盖与基板间开启和闭合；其中，光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方，并且在上盖和基板闭合时，上盖完全覆盖光罩薄膜，而不覆盖真空吸盘定位部件。
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