[实用新型]一种检漏仪真空系统

摘要

一种检漏仪真空系统，包括检漏口、质谱室和真空泵机构，所述检漏口放置被检件；所述质谱室检测示漏气体，在所述质谱室与所述检漏口之间的气路通道上设置有阀门；所述真空泵机构用于对所述检漏口和所述质谱室抽真空，在所述真空泵机构与所述检漏口之间的气路通道上设置有阀门；所述质谱室与所述检漏口之间的气路通道，和所述质谱室与所述真空泵机构之间的气路通道连接并形成节点，在所述节点与所述质谱室之间的气路通道上也设置有阀门。本实用新型提供的检漏仪真空系统，在初检时采用逆扩散检漏方式，检漏效率高，在精检时采用正扩散检漏方式，准确度高、灵敏度高，而且在转换为正扩散检漏时不会损坏质谱室内灯丝。

主权项

一种检漏仪真空系统，包括 检漏口（3），放置被检件； 质谱室（5），检测示漏气体，在所述质谱室（5）与所述检漏口（3）之间的气路通道上设置有阀门； 真空泵机构，用于对所述检漏口（3）和所述质谱室（5）抽真空，在所述真空泵机构与所述检漏口（3）之间的气路通道上设置有阀门； 其特征在于：所述质谱室（5）与所述检漏口（3）之间的气路通道，和所述质谱室（5）与所述真空泵机构之间的气路通道连接并形成节点（9），在所述节点（9）与所述质谱室（5）之间的气路通道上也设置有阀门。