[实用新型]半导体测试仪及其半导体测试台无效
| 申请号： | 201020663768.4 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202066940U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张巍巍 | 申请（专利权）人： | 江阴格朗瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 214421 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体测试仪及其半导体测试台。本实用新型提供了一种半导体测试台，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的位移方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。如此设置，可有效提高测试针与待测试体一一对位的可靠性。本实用新型还提供了一种包括上述半导体测试台的半导体测试仪，其能够避免因测试座的上下位移而导致其内部的线路产生中断的问题，从而有效避免了因拆卸测试座而对测试针带来的不可修复的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 测试仪 及其 测试 | ||
【主权项】：
一种半导体测试台，其特征在于，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的位移方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。
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