[实用新型]纳米级微位移光杠杆激光测量系统无效
| 申请号： | 201020665719.4 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN201903326U | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓旻;李苏贵 | 申请（专利权）人： | 刘晓旻;李苏贵 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 霍彦伟;李想 |
| 地址： | 450000 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种纳米级微位移光杠杆激光测量系统，它由弹簧-质量块-阻尼系统、位移检测系统和电控和信号处理系统组成，所述的弹簧-质量块-阻尼系统包括由矩形钢片构成的悬臂梁，悬臂梁一端连接质量块，所述的质量块上粘结平面镜A；所述的位移检测系统包括光源、光杠杆和光电探测器，所述的光杠杆由两个等长的平行设置的平面镜A和平面镜A＇组成，平面镜A＇固定在二维调节支架上。采用上述技术方案的本实用新型，用一对等长的平面反射镜组A和A′代替传统光杠杆原理中的一面平面镜，显著地增加光束的反射次数，增大了光束角度变化量，从而可以提高系统的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 位移 杠杆 激光 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种纳米级微位移光杠杆激光测量系统，它由弹簧 质量块 阻尼系统、位移检测系统和电控和信号处理系统组成，其特征在于：所述的弹簧 质量块 阻尼系统包括由矩形钢片构成的悬臂梁（1），悬臂梁（1）一端连接质量块（2），所述的质量块上粘结平面镜A（3）；所述的位移检测系统包括光源（4）、光杠杆和光电探测器（6），所述的光杠杆由两个等长的平行设置的平面镜A（3）和平面镜A＇（5）组成，平面镜A＇（5）固定在二维调节支架（7）上。
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