[实用新型]薄膜层边缘清除机构无效
申请号: | 201020667216.0 | 申请日: | 2010-12-20 |
公开(公告)号: | CN201966235U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 杨明生;范继良;刘惠森;蓝劾;余超平;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种薄膜层边缘清除机构,包括激光器、Y轴轨道、两X轴轨道、两滑台、至少两推动装置及至少两夹持装置,两X轴轨道沿X轴方向呈水平平行设置,基板位于两X轴轨道之间并沿X轴方向传输,基板的薄膜层向下,滑台与X轴轨道滑动连接,夹持装置对称固定在滑台上并对基板的边缘进行夹持和释放,推动装置对称固定在滑台上并沿Y轴方向对基板进行水平推动,Y轴轨道垂直横跨两X轴轨道并位于滑台、基板的上方,激光器具有激光头且激光头位于基板的上方并与Y轴轨道滑动连接。本实用新型的薄膜层边缘清除机构能高效可靠、快速有效地清除太阳能电池基板上的薄膜层的边缘,提高成品质量。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 边缘 清除 机构 | ||
【主权项】:
一种薄膜层边缘清除机构,适用于对太阳能电池基板上的薄膜层的边缘进行清除,其特征在于:包括激光器、Y轴轨道、两X轴轨道、两滑台、至少两推动装置及至少两夹持装置,两所述X轴轨道沿X轴方向呈水平置放并相互平行设置,所述基板位于两所述X轴轨道之间并沿X轴方向传输,所述基板上的薄膜层向下,所述滑台与所述X轴轨道滑动连接,所述夹持装置对称固定在所述滑台上并对基板的边缘进行夹持和释放,所述推动装置对称固定在所述滑台上并沿Y轴方向对所述基板进行水平推动,所述Y轴轨道垂直横跨两所述X轴轨道并位于所述滑台、基板的上方,所述激光器与所述Y轴轨道滑动连接,所述激光器具有激光头且所述激光头位于所述基板的上方,所述激光头正对所述基板的边缘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的