[实用新型]激光刻线除尘装置

摘要

本实用新型公开了一种激光刻线除尘装置，其包括控制单元、加工单元及除尘单元，加工单元包括气浮平台、激光器轨道、激光器移动机构及激光发生器，非晶硅太阳能玻璃基板承载于气浮平台上方且膜层向下，激光发生器滑动设置于激光器轨道上，激光发生器的出光孔位于非晶硅太阳能玻璃基板的上方，除尘单元包括负压吸尘器及同步传动机构，同步传动机构设置于气浮平台的下方，负压吸尘器的负压吸嘴安装于同步传动机构上且正对激光发生器的出光孔，同步传动机构带动负压吸尘器的负压吸嘴与激光发生器的出光孔同步移动，实现对膜层的蚀刻与除尘的同步，具有较高的除尘效果，同时由于负压吸嘴很小，吸尘面积较小，因此使用小功率风机即可有良好的除尘效果。

主权项

一种激光刻线除尘装置，适用于在激光发生器对非晶硅太阳能玻璃基板上的膜层表面进行蚀刻的过程中进行除尘，所述激光刻线除尘装置包括控制单元、加工单元及除尘单元，所述加工单元及所述除尘单元均与所述控制单元连接，所述加工单元包括气浮平台、激光器轨道、激光器移动机构及激光发生器，所述非晶硅太阳能玻璃基板承载于所述气浮平台上方且膜层向下，所述激光发生器滑动设置于所述激光器轨道上，所述激光器移动机构带动所述激光发生器在所述激光器轨道上移动，所述激光发生器的出光孔位于所述非晶硅太阳能玻璃基板的上方，其特征在于：所述除尘单元包括负压吸尘器及同步传动机构，所述同步传动机构设置于所述气浮平台的下方，所述负压吸尘器的负压吸嘴安装于所述同步传动机构上且正对所述激光发生器的出光孔，所述同步传动机构带动所述负压吸尘器的负压吸嘴与所述激光发生器的出光孔同步移动，实现对膜层的蚀刻与除尘同步。