[实用新型]固定研磨料的化学机械研磨设备

摘要

本实用新型固定研磨料的化学机械研磨设备包括承载台、研磨垫、输入端卷轴、输出端卷轴、输出端转轴、第一输入端转轴、第二输入端转轴和研磨料织网，所述第一输入端转轴设置在所述承载台的斜上方，所述第二输入端转轴设置在所述承载台的边缘上方，所述研磨料织网的一端缠绕在所述输入端卷轴上，其另一端通过所述第一输入端转轴、第二输入端转轴和输出端转轴缠绕在所述输出端卷轴上，所述第一输入端转轴与第二输入端转轴之间的所述研磨料织网呈下坡面，所述第二输入端转轴与所述输出端转轴之间的所述研磨料织网水平设置在所述研磨垫上。该固定研磨料的化学机械研磨设备能防止化学试剂和去离子水污染有效的研磨料织网，提高晶圆研磨速率的稳定性。

主权项

一种固定研磨料的化学机械研磨设备，包括承载台、设置在所述承载台上的研磨垫、设置在所述承载台一侧下方的输入端卷轴、设置在所述承载台另一侧下方的输出端卷轴、与所述输出端卷轴设置在同一侧的输出端转轴、以及研磨料织网，其特征在于，还包括第一输入端转轴和第二输入端转轴，所述第一输入端转轴和第二输入端转轴与所述输入端卷轴位于同一侧，所述第一输入端转轴设置在所述承载台的斜上方，所述第二输入端转轴设置在所述承载台的边缘上方，所述研磨料织网的一端缠绕在所述输入端卷轴上，其另一端通过所述第一输入端转轴、第二输入端转轴和输出端转轴缠绕在所述输出端卷轴上，所述第一输入端转轴与第二输入端转轴之间的所述研磨料织网呈下坡面，所述第二输入端转轴与所述输出端转轴之间的所述研磨料织网水平设置在所述研磨垫上。