[实用新型]用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板

摘要

本实用新型是关于一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其包含一载板本体以及数个调整板体组，于载板本体的基材定位空间的固定边设有第一承载凸部，依据待处理基材的尺寸规格分别自各调整板体组中选取一相应的调整板体安装于基材定位空间周边的容置槽，所述调整板体邻近基材定位空间的边缘分别设有第二承载凸部，并以第一、第二承载凸部用以共同承载基材，藉此，使该输送载板可因应不同尺寸规格的基材而调整相应的基材定位空间的孔径，扩大输送载板的适用范围。

主权项

一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板，其特征在于，其包含：一载板本体，是形成至少一镂空状的基材定位空间，于基材定位空间周边分布形成一固定边以及三侧边，载板本体于所述侧边各形成一下凹的容置槽，于容置槽底部形成槽底承载部，载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘下段形成数个第一承载凸部；三调整板体组，每一调整板体组各包含有数个调整板体，并自每一调整板体组选自一调整板体可拆组的组装定位于载板本体相应的容置槽中，调整板体为容置槽底部的槽底承载部所承载，所述调整板体邻接基材定位空间的边缘下段形成数个第二承载凸部，所述第二承载凸部顶缘与第一承载凸部顶缘等高。