[实用新型]超薄晶圆移动装置

摘要

一种超薄晶圆移动装置，其至少包含一晶圆盒置放单元用以将晶圆盒垂直上下移动，一夹取单元以水平状态夹取一个白铁环圈固超薄晶圆至导轨上水平移动，及一夹固移送单元以水平状态夹固前述超薄晶圆，并以垂直及水平位移方式将至薄晶圆移送并定位置放至后续的制程设备内，且在后续的制程结束后反方向作动。通过水平夹取与夹固的移动方式，增加超薄晶圆搬运流程的流畅度。

主权项

一种超薄晶圆移动装置，其特征在于，包含：一晶圆盒置放单元，以用于晶圆盒内水平状态放置且排列成垂直状态的至少一个白铁环圈固超薄晶圆进行垂直上下移动；一夹取单元，以用于以水平状态夹取一个白铁环圈固超薄晶圆至导轨上水平移动；及一夹固移送单元，以用于以水平状态夹固前述夹取单元取出的白铁环圈固超薄晶圆，并以垂直及水平位移方式将至白铁环圈固超薄晶圆移送并定位置放至后续的制程设备内，且在后续的制程结束后反方向将白铁环圈固超薄晶圆夹固移送至原位置。