[实用新型]发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机

摘要

一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，包括圆柱形卧式上开门结构的真空室1、靶安装管件2、工件架3、固定齿盘4、支承轮5和旋转驱动机构，靶安装管件2通过左、右法兰7安装在真空室1内的左、右侧板11上，其上安装有平面磁控靶22或/和旋转园柱磁控靶23；工件架3由转盘31、齿盘32、连杆33和可伸缩的左、右自转轴34组成，固定齿轮4通过支承柱41固定在真空室1的右侧板11上，旋转驱动机构包括动力输入轴8和动力输入轴8连接的驱动齿轮9，驱动齿轮9与转盘31啮合。本实用新型将立式结构改为卧式结构，破解了超长管镀膜所引起的设备超高、厂房超高、使用维护等许多难题，操作方便可靠，没有油气污染，膜层的质量更有保证。

主权项

一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，其特征是包括圆柱形卧式上开门结构的真空室、靶安装管件、工件架、固定齿盘、支承轮和旋转驱动机构，真空室在长度方向均布有多套独立的真空抽气装置，靶安装管件通过左、右法兰安装在真空室内的左、右侧板上，其上通过安装法兰安装有平面磁控靶或/和旋转园柱磁控靶；工件架是可整体吊装的可旋转工件架，其安放在四个支承轮上，包括转盘、齿盘、连杆和工件装取机构，转盘和齿盘分别安装在靶安装管件的左、右两端，并用连杆连接，齿盘外周有齿，工件装取机构一端有与固定齿盘啮合的自转齿轮，另一端用于安装工件；固定齿轮通过支承柱固定在真空室的右侧板上，其外周有与自转轴一端的自转齿轮啮合的齿，旋转驱动机构是为工件架的运动提供动力的齿轮传动机构，它包括动力输入轴和动力输入轴连接的驱动齿轮，驱动齿轮与转盘啮合。