[实用新型]一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统有效
| 申请号： | 201020688018.2 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201933152U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 戴煜;羊建高;谭兴龙 | 申请（专利权）人： | 戴煜;羊建高;谭兴龙 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 邓建辉 |
| 地址： | 410118 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，包括多种混合气体供气管路(11)、排气管路和沉积室(18)，所述的沉积室(18)的顶部均匀排布设有多个与所述的供气管路连接的喇叭形顶部进气管(2)，在所述的沉积室(18)的底部均匀排布设有多个与所述的排气管路连接的喇叭形排气管(4)。本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性的适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 大型 化学 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，包括混合气体供气管路(11)、排气管路(8)和沉积室(18)，其特征是：所述的沉积室(18)的顶部均匀排布设有多个与所述的混合气体供气管路(11)连接的喇叭形顶部进气管(2)，在所述的沉积室(18)的底部均匀排布设有多个与所述的排气管路(8)连接的喇叭形排气管(4)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
