[实用新型]一种旋转自由度精密调节定位机构有效
申请号: | 201020694362.2 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN201994077U | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 王凯;段振飞 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种旋转自由度精密定位调节机构,包括底座和支脚,支脚有三个,分别连在底座下;第一支脚与底座之间设有底面是球面的调节螺钉,第一支脚对应此调节螺钉处设有垫圈定位槽,槽中设有锥面垫圈;第二支脚与底座之间设有底面是球面的定位销,第二支脚上对应此定位销处设有球面槽,定位销顶在球面槽内;第三支脚与底座之间的连接关系与第二支脚相同,第三支脚上还装配有偏心销,偏心销的轴心方向垂直于底座;底座在与偏心销的大端柱面对应位置处开有缺口,偏心销的大端柱面紧靠在缺口内壁上;偏心销还连接有紧定螺钉;位于第一支脚和第三支脚上的调节螺钉分别与定位销的中心连线夹角成直角。本技术方案适用于多种场合,调节方便,容易实现并具有较高的刚度和模态。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 自由度 精密 调节 定位 机构 | ||
【主权项】:
一种旋转自由度精密调节定位机构,包括底座(2)和支脚,其特征是支脚有三个,分别为第一支脚(1)、第二支脚(4)和第三支脚(5),上述三个支脚呈三角形布置在底座(2)下方;所述第一支脚(1)和第三支脚(5)与所述底座(2)之间均设有调节螺钉,所述调节螺钉下端面为球面;所述第一支脚(1)和第三支脚(5)上均设有垫圈定位槽,该定位槽中设有锥面垫圈,所述锥面垫圈与所述调节螺钉相匹配;所述第二支脚(4)与所述底座(2)之间设有定位销(3),所述定位销(3)的底面是球面,所述第二支脚(4)的上表面设有球面槽,所述定位销(3)顶在所述球面槽内;所述第三支脚(5)上还装配有偏心销(7),所述偏心销(7)的轴向垂直于所述底座(2);所述底座(2)在与所述偏心销(7)的大端柱面对应位置处开有缺口,所述偏心销(7)的大端柱面紧靠在缺口内壁上。
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