[实用新型]一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机有效
| 申请号： | 201020695048.6 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202123077U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 沈凯锋 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机，其特征在于：包括PVC材质的主槽体，在主槽体的一侧上下分别设有氢氟酸溶液进口和氮气进气口，在另一侧设有溢流口，槽体底脚及废液出液口设于主槽体的下部，槽体槽盖设于主槽体的顶部。本实用新型为带有氮化硅沉积物的零件提供一个清洗的载体，通过PCV材质的主槽体的耐酸腐蚀环境，利用氢氟酸溶液和氮化硅沉积物的化学反应去除沉积在零件表面的氮化硅沉积物，并通过鼓泡加速反应的速度和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 氮化 沉积物 | ||
【主权项】：
一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机，其特征在于：包括PVC材质的主槽体（1），在主槽体（1）的一侧上下分别设有氢氟酸溶液进口（2）和氮气进气口（3），在另一侧设有溢流口（6），槽体底脚（4）及废液出液口（5）设于主槽体（1）的下部，槽体槽盖（7）设于主槽体（1）的顶部。
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