[实用新型]化合物半导体加热装置无效
| 申请号： | 201020695061.1 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201933198U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 周雅清 | 申请（专利权）人： | 乐山凯亚达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人： | 陈亚石 |
| 地址： | 614007 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化合物半导体加热装置，包括有保温壁，保温壁上设置有保温盖，其特征在于：保温壁内设置有石墨加热器，在石墨加热器内通过托碗设置有石英坩埚，托碗通过坩埚托杆支撑，保温壁下设置有绝缘垫片，石墨加热器的引脚与电极连接。本实用新型解决了现有其他加热装置结构较复杂的问题，便于操作生产以及维护。具有很强的推广价值和应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 半导体 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种化合物半导体加热装置，包括有保温壁（2），保温壁（2）上设置有保温盖（1），其特征在于：保温壁（2）内设置有石墨加热器（5），在石墨加热器（5）内通过托碗（6）设置有石英坩埚（7），托碗（6）通过坩埚托杆（8）支撑，保温壁（2）下设置有绝缘垫片（3），石墨加热器（5）的引脚与电极（4）连接。
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