[实用新型]用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器

摘要

一种用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置，包括：顺序叠加、彼此连接在一起的控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板，其中所述控温气体分布板与所述第一气体分布板之间焊接固定，所述第一气体分布板和所述第二气体分布板之间通过可拆卸固定装置固定连接；所述控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板上分别预设有若干通道，在所述控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板彼此连接后，所述若干通道相互连通并构成相互隔离的若干个第一气体分布通道与若干个第二气体分布通道，所述若干个第一气体分布通道与第一反应气体源相连通，所述若干个第二气体分布通道与第二反应气体源相连通；所述控温气体分布板上还设置有与冷却源相连接的冷却腔。

主权项

一种用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置，其特征在于，所述装置包括：顺序叠加、彼此连接在一起的控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板，其中所述控温气体分布板与所述第一气体分布板之间焊接固定，所述第一气体分布板和所述第二气体分布板之间通过可拆卸固定装置固定连接；所述控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板上分别预设有若干通道，在所述控温气体分布板、第一气体分布板和第二气体分布板彼此连接后，所述若干通道相互连通并构成相互隔离的若干个第一气体分布通道与若干个第二气体分布通道，所述若干个第一气体分布通道与第一反应气体源相连通，所述若干个第二气体分布通道与第二反应气体源相连通；所述控温气体分布板上还设置有与冷却源相连接的冷却腔。