[实用新型]三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统无效
申请号: | 201020701283.X | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN201949785U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 宋宜华 | 申请(专利权)人: | 淄博宝运化工厂 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 255000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置,具体是一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统,包括吸收塔,尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部,吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器;吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。本实用新型能够充分利用尾气处理过程中的热量,节约能源。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 尾气 处理 热量 回收 设备 系统 | ||
【主权项】:
一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统,包括吸收塔,尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部,吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器;吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。
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