[发明专利]预对准装置以及预对准方法有效
| 申请号： | 201080002389.3 | 申请日： | 2010-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN102257437A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 桥永宙 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;杨本良 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使曝光单元整体变得小型化，并且能够缩短生产节拍时间的预对准装置以及预对准方法。通过预对准装置(20)具有：对载置在精密温度调整板(22)上的基板W进行温度调整的基板温度调整机构；和检测载置在精密温度调整板(22)上的基板的异物的异物检测机构(34)；这样能够使预对准装置(20)、基板温度调整机构和异物检测机构成为简单的装置，并且能够减少搬送用机器人的数量，并使曝光单元整体变得小型化。并且，通过对进行温度调整中的基板进行预对准和异物检测，能够缩短生产节拍时间。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种预对准装置，用于对搬送到曝光装置的基板进行预对准，其特征在于，具有：基板保存部，用于载置所述基板；基板驱动机构，沿预定方向以及与该预定方向正交的方向驱动所述基板保存部，并且绕与所述方向正交的轴进行旋转驱动；基板温度调整机构，对载置在所述基板保存部上的基板进行温度调整。
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