[发明专利]压电体薄膜、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法有效
申请号: | 201080003893.5 | 申请日: | 2010-09-22 |
公开(公告)号: | CN102272963A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 张替贵圣;足立秀明;藤井映志 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;B41J2/045;B41J2/055;B41J2/16;G01C19/56;G01P9/04;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种含有无铅强介电材料,且具有低介电损耗、高机电耦合系数以及与钛酸锆酸铅(PZT)相同的高压电常数的无铅压电体薄膜。本发明的压电体薄膜具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO3构成的(Bi、Na、Ba)TiO3膜。(Bi、Na、Ba)TiO3膜具有(001)取向,还含有Ag。在(Bi、Na、Ba)TiO3膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。 | ||
搜索关键词: | 压电 薄膜 喷墨 使用 形成 图像 方法 角速度 传感器 测定 发电 元件 以及 | ||
【主权项】:
一种压电体薄膜,其特征在于:具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO3构成的(Bi、Na、Ba)TiO3膜,所述(Bi、Na、Ba)TiO3膜具有(001)取向,还含有Ag,所述(Bi、Na、Ba)TiO3膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。
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