[发明专利]等离子体处理装置

摘要

一种等离子体处理装置，能够获得对确定在等离子体处理期间的异常放电的原因有用的数据。该等离子体处理装置在处理腔(3a)中持有基板(9)以使其经历等离子体处理。该等离子体处理装置被提供有：放电检测传感器(23)，检测处理腔(3a)内部的异常放电；以及照相机(26)，通过窗口部分(2a)拍摄处理腔(3a)内部的图像并输出运动图像数据。当检测到异常放电时，等离子体处理装置存储与提取目标时间段对应的运动图像数据作为历史数据，该提取目标时间段被设置为包括从异常放电的时间点往前一精确预定时间的在先时间点和异常放电的检测时间点，所述在先时间点例如是等离子体产生时间点或开始加载基板(9)的时间点。因此，可以获得对确定在等离子体处理期间的异常放电的原因有用的数据。

主权项

一种等离子体处理装置，包括：真空腔，形成容纳待处理对象的处理腔；等离子体处理执行部分，在所述处理腔中的减小的压力状态下将等离子体产生气体引入所述处理腔中，通过施加高频电压来激励所述等离子体产生气体，并对容纳在所述处理腔中的待处理对象执行等离子体处理；以及放电状态检测单元，检测所述处理腔中的异常放电，其中，所述等离子体处理装置包括：窗口部分，形成在所述真空腔处；照相机，通过所述窗口部分来拍摄所述真空腔的内部的图像，并输出运动图像数据；第一存储部分，存储从所述照相机输出的运动图像数据；第二存储部分，存储从所述第一存储部分中提取的运动图像数据；以及图像数据提取单元，当所述放电状态检测单元检测到异常放电时，所述图像数据提取单元从所述第一存储部分中至少提取示出所述异常放电的产生状态的运动图像数据，并且将所提取的运动图像数据存储到所述第二存储部分中。