[发明专利]等离子体处理装置

摘要

一种等离子体处理装置能够保证等离子体处理中的可追溯性。该等离子体处理装置被提供有数据记录单元(35)、历史信息存储单元(41)、以及制造历史文件创建单元(42a)。数据记录部分在每次结束对待处理对象的等离子体处理时，读出日期和时间数据、对象指明数据、表示匹配单元(18)等的操作状态的机器输出数据、以及表示由放电状态检测单元(34)执行的放电状态的判断结果的判断数据，并以时间序列的方式将所述数据存储在历史信息存储部分中。制造历史文件创建部分基于指定的时段或时间从历史信息存储部分读出时间数据(41k)、包括对象指明数据的处理后的工作信息(41j)、机器输出数据(41c)、以及判断数据(41f)，并创建在可追溯性上有用的制造历史文件。

主权项

一种等离子体处理装置，包括：真空腔，形成容纳待处理对象的处理腔；等离子体处理执行部分，其在所述处理腔中减小的压力状态下，将等离子体产生气体引入所述处理腔中，通过施加高频电压来在所述处理腔中产生等离子体放电，并对所述处理腔中容纳的待处理对象执行等离子体处理；操作条件参数存储部分，存储被设置为所述等离子体处理执行部分的操作条件的操作条件参数；装置控制部分，其基于所述操作条件参数来控制所述等离子体处理执行部分；放电状态检测单元，其通过分析与等离子体的改变对应的电势改变来检测放电状态，并基于检测结果，对每个待处理对象判断放电状态的质量；历史信息存储部分；日期和时间数据创建部分，创建表示日期和时间的日期和时间数据；对象指明数据输出部分，其输出用于指明所述待处理对象的对象指明数据；数据记录部分，其在每次结束对所述待处理对象的等离子体处理时，读出所述日期和时间数据、所述对象指明数据、表示所述等离子体处理执行部分的操作状态的机器输出数据、以及表示由所述放电状态检测单元执行的放电状态的判断结果的判断数据，并以时间序列的方式将所述数据存储在所述历史信息存储部分中；以及制造历史文件创建部分，其具有基于指定的时段或日期和时间从所述历史信息存储部分读出所述日期和时间数据、所述对象指明数据、所述机器输出数据、以及所述放电状态的判断结果的功能，并具有创建制造历史文件的功能。