[发明专利]用于微光刻的照明系统

摘要

一种用于微光刻的照明系统用于通过一次光源的照明光照明一照明场。第一光栅布置(12)具有布置在照明系统的第一平面或该第一平面附近的成束第一光栅元件(24)。第一光栅布置(12)用于产生二次光源的光栅布置。传输透镜用于将二次光源的照明光的传输叠加到照明场中。传输透镜具有第二光栅布置(15)，第二光栅布置(15)具有成束第二光栅元件(26)。第一光栅布置(12)的每个光栅元件(24)被与第二光栅布置(15)的光栅元件(26)之一相关，用于引导照明光的整个光束的部分光束(25)。例如，第一光栅布置(12)具有至少两个类型(I、II、III)的第一光栅元件(24)，它们具有不同的束影响效果。两个光栅布置(12、15)的光栅元件(24、26)相对于彼此布置，使得每个光栅元件类型(I至III)与至少一个单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)相关，所述单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)在此类型(I至III)的光栅元件(24)与第二光栅布置(15)的所相关的光栅元件(26)之间。结果是一种照明系统，利用该照明系统，可以影响特定的照明参数，从而最大可能地避免了对其它照明参数的不期望的影响。

主权项

用于微光刻的照明系统(5)，其利用一次光源(6)的照明光(8)照明物场(3)，所述照明系统(5)包括：‑第一光栅布置(12)，其具有成束的第一光栅元件(24)，所述第一光栅元件(24)布置在所述照明系统(5)的第一平面(11)中或者所述平面(11)附近，用于产生二次光源的光栅布置；‑传输光学部件(15、17)，用于将所述二次光源的照明光(8)的传输叠加到所述照明场(3)中，‑其中，所述传输光学部件(15、17)包括具有成束的第二光栅元件(26)的第二光栅布置(15)；‑其中，所述第一光栅布置(12)的光栅元件(24)之一分别被分配给所述第二光栅布置(15)的光栅元件(26)之一，用于引导所述照明光(8)的整个光束的部分光束(25)；‑其中，所述两个光栅布置(12)中的至少一个包括所述光栅元件(24)的具有不同光束影响效果的至少两个类型(I、II、III)；‑其中，所述光栅布置(12、15)的光栅元件(24、26)被互相分配给对方，使得向所述光栅布置(12)之一的所述光栅元件类型(I至III)之一的每个光栅元件分配至少一个单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)，所述单独自由距离(ΔI、ΔII、ΔIII)在此类型(I至III)的光栅元件(24)与另一光栅布置(15)的所分配的光栅元件(26)之间。