[发明专利]用于多电极电感等离子体源的无源功率分配无效
| 申请号： | 201080006340.5 | 申请日： | 2010-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN102301833A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | D·C·卡特;V·L·布劳克 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于控制处理腔室中等离子体的空间分布的系统、方法和装置。示例性系统包括设置为在所述初级电感器被有源地施加功率时激励所述等离子体的初级电感器；至少一个次级电感器，定位于邻近于所述初级电感器，以使得通过所述次级电感器的基本全部电流由所述等离子体与所述初级电感器的互感产生。此外，至少一个端接元件耦合至所述至少一个次级电感器，所述至少一个端接元件影响通过所述至少一个次级电感器的电流，以影响所述等离子体的所述空间分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电极 电感 等离子体 无源 功率 分配 | ||
【主权项】：
一种用于控制处理腔室中等离子体的空间分布的系统，包括：初级电感器，设置为在所述初级电感器被有源地施加功率时激励所述等离子体；至少一个次级电感器，定位为邻近于所述初级电感器，以使得通过所述次级电感器的基本全部电流由所述等离子体与所述初级电感器的互感产生；以及至少一个端接元件，耦合至所述至少一个次级电感器，所述至少一个端接元件影响通过所述至少一个次级电感器的电流，以影响所述等离子体的所述空间分布。
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