[发明专利]等离子体涂覆设备和基材表面的涂覆或处理方法有效
| 申请号： | 201080006467.7 | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN102388680A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | M·金德拉特;P·吉蒂内;C·霍伦施泰因 | 申请（专利权）人： | 苏舍美特科公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;杨国治 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 提出一种用于涂覆或处理基材(3)表面的等离子体涂覆设备，其具有可被抽真空的且其中可安放有基材(3)的加工室(2)，且具有用于通过加热过程气体来产生等离子体束(5)的等离子体燃烧器(4)，其中等离子体燃烧器(4)具有喷嘴(41)，等离子体束(5)通过喷嘴从等离子体燃烧器(4)射出，并沿纵轴线(A)在加工室(2)内延伸，其中在喷嘴(41)的下游在加工室(2)内设有机械的限界装置(12)，其沿纵轴线(A)延伸，并且保护等离子体束(5)以免受不希望有的侧向颗粒侵入。还提出一种相应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 设备 基材 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种用于涂覆或处理基材(3)的表面的等离子体涂覆设备，具有可被抽真空的且可在其中安放该基材(3)的加工室(2)，且具有用于通过加热过程气体来产生等离子体束(5)的等离子体燃烧器(4)，其中该等离子体燃烧器(4)具有喷嘴(41)，等离子体束(5)通过该喷嘴从该等离子体燃烧器(4)射出，并且可沿纵轴线(A)在该加工室(2)内延伸，其特征在于，在该喷嘴(41)的下游在该加工室(2)内设有机械的限界装置(12)，该限界装置沿纵轴线(A)延伸，并且保护等离子体束(5)以免受不希望有的侧向颗粒侵入。
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