[发明专利]多入口真空泵有效
| 申请号： | 201080006756.7 | 申请日： | 2010-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN102308097A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | I.D.斯通斯 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姜云霞;杨炯 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 第一和第二泵级提供了从入口到出口(30)的流动路径，流动路径被设置为使得进入第一入口(26)的分子经过第一泵级(120)和第二泵级(122)到达出口，并且使得进入第二入口(28)的分子经过级间容积(121)和第二泵级(122)到达出口；其中第一泵级(120)和第二泵级(122)每一个都包括涡轮分子副级(120a,122a)和牵引分子副级(120b,122b)。 | ||
| 搜索关键词： | 入口 真空泵 | ||
【主权项】：
一种多入口真空泵，包括：第一泵级和第二泵级；第一入口和第二入口，每一个都被设置用于从腔室接收气体分子；以及被设置用于从泵中排出气体分子的出口；其中第一泵级和第二泵级提供了从入口到出口的流动路径，流动路径被设置为使得进入第一入口的分子经过第一泵级和第二泵级到达出口，并且使得进入第二入口的分子经过级间容积和第二泵级到达出口；其特征在于第一泵级和第二泵级每一个都包括涡轮分子副级和牵引分子副级。
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