[发明专利]坐标测量机（CMM）和补偿坐标测量机中的误差的方法

摘要

本发明涉及一种坐标测量机(1)，其包括静止的基座(3)、探头(6)和用于沿第一方向运动的至少一个线性驱动机构(2X，2Y，2Z)，该线性驱动机构具有线性导向件(4X，4Y)和可动部件(5X，5Y)，该可动部件由轴承(71X，72X，73X，74X，71Y，72Y，73Y，74Y)支撑以沿着导向件运动。线性驱动机构(2X，2Y，2Z)至少还包括具有至少两个位移传感器(91X，92X，93X，94X，95X，91Y，92Y，93Y，94Y，95Y)的预校准的第一集成式传感器组件(101X，102X，101Y，102Y)，每个位移传感器均用于测量沿与第一方向(X，Y，Z)不平行的方向从可动部件(5X，5Y)到导向件(4X，4Y)的距离，其中感测到的距离表示可动部件(5X，5Y)沿垂直于第一方向(X，Y，Z)的方向从通常的支承位置移位的平移位移以及可动部件(5X，5Y)的旋转位移。

主权项

一种用于确定待测物体(12)上的测量点(13)的至少一个空间坐标的坐标测量机(1)，所述坐标测量机包括：●静止的基座(3)；●探头(6)，所述探头能相对于所述基座(3)运动，●至少一个线性驱动机构(2X，2Y，2Z)，所述至少一个线性驱动机构用于提供所述探头(6)沿第一方向(X，Y，Z)相对于所述基座(3)的可动性；所述线性驱动机构(2X，2Y，2Z)具有：□沿所述第一方向(X，Y，Z)的线性导向件(4X，4Y)；□可动部件(5X，5Y)，所述可动部件由轴承(71X，72X，73X，74X，71Y，72Y，73Y，74Y)支撑以沿着所述导向件(4X，4Y)运动；以及□线性测量仪器(8X，8Y)，所述线性测量仪器用于确定所述可动部件(5X，5Y)沿所述第一方向(X，Y，Z)的第一驱动位置；以及●计算单元(11)，所述计算单元用于至少根据所述第一驱动位置确定所述空间坐标；其特征在于：●所述线性驱动机构(2X，2Y，2Z)还至少包括预校准的第一集成式传感器组件(101X，102X，101Y，102Y)，所述第一集成式传感器组件具有至少两个位移传感器(91X，92X，93X，94X，95X，91Y，92Y，93Y，94Y，95Y)，每个所述位移传感器均被构造成用于测量沿与所述第一方向(X，Y，Z)不平行的方向从所述可动部件(5X，5Y)到所述导向件(4X，4Y)的距离，具体的是所述可动部件(5X，5Y)和所述导向件(4X，4Y)的面对的表面(4S1X，4S2X，5S1X，5S2X)之间的支承距离，其中感测到的距离表示：□所述可动部件(5X，5Y)沿垂直于所述第一方向(X，Y，Z)的方向从通常的支承位置移位的平移位移；和□所述可动部件(5X，5Y)的旋转位移；●其中，所述空间坐标由所述计算单元(11)进一步根据所表示的位移来确定。