[发明专利]氧化硅玻璃坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201080008271.1 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102762781A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;岸弘史;铃木江梨子 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 日本秋田县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制填充在坩埚内部的硅熔液的熔液面振动，并且，寿命长的单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚及其制造方法。本发明的单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚，其具有周壁部、弯曲部及底部，其中，在周壁部内面的特定区域上设置有多个微小凹部。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚，具有周壁部、弯曲部以及底部，其特征在于：上述周壁部内面的特定区域上设置有多个微小凹部。
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